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半導體行業(yè)潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

 更新日期:2021-09-22 點擊量:2435

半導體行業(yè)潔凈室塵埃粒子濃度等級劃分原則

無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室(Clean Room)、無塵室,是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細jun等污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計房間。即不論外在空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求潔凈度、溫濕度及壓力等級能特性。

潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)(如陀螺儀、微型軸承等加工)、半導體工業(yè)(如大規(guī)模集成電路生產)等對環(huán)境的要求,促進了潔凈室技術的發(fā)展。國內曾統(tǒng)計過,在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產MOS電路管芯的合格率僅10%~15%,64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導體、宇航、原子能等工業(yè)中應用潔凈室已相當普遍。

經(jīng)濟和科技發(fā)達的國家和地區(qū)都有自己的空氣潔凈標準和規(guī)范標準,都規(guī)定了有關的潔凈度等級,我國于1984年頒布《潔凈廠房設計規(guī)范》(GBJ73-84),1996年該規(guī)范進行了較大的修改,1990年頒布《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(JGJ71-90)以指導施工和驗收的重要文件。依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標準【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可將無塵室分為六級:分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級。

如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,則可假設塵粒的尺寸是0.5um,無塵室等級應以特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如:10級在0.2um(塵粒尺寸在0.2um或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)。

1級;這個級別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對集成電路的精確要求位亞微米。

10級;這個級別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導體工業(yè)。

100級;很多人認為。這是使范圍面廣,因而是重要的無塵車間。人們常常錯誤地將100級潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌"的或“無塵"的環(huán)境要求,100級無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應用于植入體內物品的制造,外科手術,包括集成器的制造,那些對細jun感染特別敏感的病人的隔離治。

1000級;這個級別的無塵車間主要用于高質量光學產品的生產,還用于測試,裝配高質量微型軸承等。

10000級;萬級無塵車間用于液壓設備或氣壓設備的裝配,某些情況也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用。

100000級;十萬級無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學產品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓的制造,食品飲料的生產,醫(yī)藥工業(yè)也常常使用這一級無塵車間。

無塵車間是一個多功能的歸納整休,多功能表現(xiàn)在以下兩個方面。

多專業(yè)--修建、空調、凈化、純水、純氣;

多參數(shù)--空氣潔凈度、細菌濃度以及空氣的風量、壓力、噪聲、照度,萬級無塵車間強度高,隔熱保溫,可作天花圍護布局板材承重,抗彎抗壓,一般潔凈室比較少用梁柱。

無塵車間設計要點:

一、滿足生產工藝對建筑設計的要求,實現(xiàn)高性能的制造空間與設施。在對凈化工程 無塵車間進行總圖設計、平面布置、剖面設計時,須充分考慮場地的合理利用和滿足工藝生產的要求。在對凈化無塵車間工程的建筑進行設計時,須處理好潔凈區(qū)域與其相關的輔助區(qū)的關系。

二、實現(xiàn)能夠經(jīng)濟運行的設施,節(jié)約能源、易于維護、降低造價。凈化無塵車間建筑設計,須確保凈化無塵車間內清潔、易清掃、防止內外污染,防止微粒產生、滯留和積存。

三、應使用可靠性高的運行設施,凈化無塵車間建筑設計,應確保建筑設備的安全運行,當一旦出現(xiàn)事故后,確保人員、財產安全。主體結構應具備同凈化無塵車間內的工藝裝備水平,建筑處理和裝飾水平相適應的等級水平,潔凈廠房的耐久性、耐火能力,裝修應與裝備水平相互協(xié)調,使投資長期長揮作用。

四、應實現(xiàn)能夠適應將來變化的設施,潔凈廠房的建筑平面和空間布局應具有靈活性,為生產工藝的調整創(chuàng)造條件。

蘇州宏瑞凈化科技有限公司研發(fā)生產的HR-FMS潔凈環(huán)境在線監(jiān)測系統(tǒng)可以通過RJ45網(wǎng)絡接口、WiFi、485 (moudbus)等,將數(shù)據(jù)傳輸給PC終端,為用戶提供實時準確的車間微粒數(shù)量和凈化等級,專業(yè)應用于電子行業(yè)、制藥車間、食品、藥品車間、半導體、光學或精密機械加工車間等潔凈環(huán)境;用戶可根據(jù)需要增加或減少控制終端,可實現(xiàn)7*24實時遠程自動監(jiān)測,有助于企業(yè)提升自動化、精細化管理。

 


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