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電子制造業(yè)包括電子設(shè)備(計(jì)算機(jī)、電視、通訊設(shè)備、電子控制、電子儀器等)、電子元件(電阻、電容、電感器、印刷線路板等)、電氣器件(接插元件、電子管、晶體管、集成電路等)以及其原材料(高頻磁性材料、高頻絕緣材料、半導(dǎo)體材料等)的工業(yè)生產(chǎn)企業(yè)。
以上這些電子行業(yè)的生產(chǎn)工藝對環(huán)境潔凈度有不同程度的要求,從潔凈度100級、1000級到萬級、十萬級的電子無塵車間都有廣泛的應(yīng)用,主要控制粒徑0.1-0.5UM的塵埃及細(xì)菌污染物,例如線路板PCB生產(chǎn)的照相、制版、SMT、干膜車間,芯片生產(chǎn)的蝕刻、離子注入、CMP車間;封裝企業(yè)的劃片、鍵合車間;電子儀器微電子的裝配車間;半導(dǎo)體材料生產(chǎn)的拉單晶、清洗、外延車間;液晶顯示器生產(chǎn)的陳列板、成盒、STN-LCD車間;鋰電子生產(chǎn)的干工藝車間;電容電阻生產(chǎn)的絲印、流延車間;光導(dǎo)纖維的拉絲、光盤制造車間等等。
一、什么是電子制造業(yè)的無塵車間?
這類用于生產(chǎn)精密電子產(chǎn)品的無塵車間,共同之處是將一定空間范圍內(nèi)的空氣塵埃粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內(nèi),而專門設(shè)計(jì)建造的生產(chǎn)車間。即是具有無論外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)環(huán)境均能具有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能特點(diǎn)。
根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域和產(chǎn)品的不同,無塵車間也有設(shè)計(jì)方案上的區(qū)別,因此,電子制造業(yè)的無塵車間設(shè)計(jì),也是一項(xiàng)綜合的通風(fēng)凈化技術(shù)。只有充分了解電子制造業(yè)的各車間功能、生產(chǎn)工藝特點(diǎn)等,經(jīng)合理優(yōu)化的設(shè)計(jì),才能創(chuàng)造出符合行業(yè)發(fā)展要求的無塵潔凈環(huán)境,使得電子制造業(yè)的生產(chǎn)效率大大提高。
二、電子制造業(yè)無塵車間有什么技術(shù)特點(diǎn)?
電子無塵車間涵括了多個(gè)等級潔凈室的應(yīng)用,其中千級(粒徑≥0.5UM塵粒,不大于35000顆/立方米)和萬級(粒徑≥0.5UM塵粒,不大于350000顆/立方米)無塵潔凈車間在各個(gè)工藝環(huán)節(jié)使用占比較多。車間環(huán)境參數(shù)中的塵埃粒子數(shù)、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)、新風(fēng)量嚴(yán)格按照潔凈規(guī)范控制, 照明、潔凈室截面風(fēng)速可按用戶實(shí)際需求或潔凈規(guī)范受控。另外,電子廠房對靜電防護(hù)要求極其嚴(yán)格,因此對無塵車間的濕度控制指標(biāo)尤甚,過于干燥車間內(nèi)部極易產(chǎn)生靜電,存在電子元件的損壞風(fēng)險(xiǎn),而濕度不穩(wěn)定的環(huán)境也會(huì)縮短電子產(chǎn)品的車間壽命。一般來說,電子無塵車間的溫度應(yīng)控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間,可有效地消除靜電,并使車間人員活動(dòng)感覺舒適。
三、概括來說,電子無塵車間有以下技術(shù)指標(biāo):
1. 塵埃粒子數(shù)控制范圍:
潔凈度級別 塵粒至大允許數(shù)/立方米
*:靜態(tài)→≥0.5μm→3520;靜態(tài)→≥5.0μm→20
B級:靜態(tài)→≥0.5μm→3520;靜態(tài)→≥5.0μm→29
C級:靜態(tài)→≥0.5μm→352000;靜態(tài)→≥5.0μm→2900
D級:靜態(tài)→≥0.5μm→3520000;靜態(tài)→≥5.0μm→29000
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2、車間內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
3、車間垂直流滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流不應(yīng)小于40%。
4、無塵車間內(nèi)與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
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5、車間室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的至大值:
(1)補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
(2)保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40立方米。
7、車間的送風(fēng)量應(yīng)取下面三項(xiàng)至大值:保證電子無塵車間空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子無塵車間的送風(fēng)量;向無塵車間內(nèi)供給的新鮮空氣量。
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